臭氧分析仪由低压紫外灯，光波过滤器、入射紫外光反射器、臭氧吸收池、样品光电传感器、采样光电传感器、输出显示、电路部件构成。臭氧分析仪的检测原理有半导体原理（英国E2V）、电化学检测原理、紫外光法原理等。臭氧分析仪主要是用于臭氧制备车间（臭氧发生器、臭氧厂房等）、化工、石油、造纸、纺织、制药和香精香料工业、水处理、食品医药灭菌车间等场合 。
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