臭氧污染为水质监测中常见的查验测验的项目，臭氧具有较强的氧化性和消毒作用，被遍及的运用，常用于餐饮的消毒灭菌、水处理及饮用水消毒等，可是简单出产臭氧化物。
水中臭氧的发生是多方的原因，因为它有消毒灭菌、漂白及氧化功用，使用场景规模广，常作为氧化剂以氧化去除水中的有机污染物，并溶于水。
一般的涉水职业经过高压放电来将空气中的氧气转化成臭氧，所发生的臭氧溶解到水中，得到臭氧水。除此以外还有电解水，经过直流电电解水发生的氧气在模块上转化为臭氧后溶解于水中。
快速检测臭氧的办法一般有化学分析法和物理检测法。常见的快速检测有以下几个：
比色法其原理是根据臭氧与二己基对苯二胺（DPD）反响显色或靛蓝染料脱色反响程度来确认臭氧浓度的办法，多用于查看水溶解臭氧浓度。
紫外分光光度法其原理是使用臭氧对254nm波长的紫外线特征吸收的特性，用紫外分光光度计，挑选正真合适长度的吸收池，根据朗伯-比尔规律（Lambert-Beer law）进行定量检测。
碘化钾-DPD（N,N-二乙基对苯二胺）法的原理检测，在碘化钾存在的条件下，臭氧与 DPD 试剂反响，使样品溶液呈赤色，显色深浅与样液中臭氧浓度成正比。该办法参照国标办法，具有便携易带，测定简洁、敏捷，反响活络，抗干扰等长处，可用于实验室、户外勘察、日常快速现场水样测定。
Qcontums的Q45H/64型溶解臭氧分析仪是在线监控臭氧的抱负仪器.关于一些特别使用场合,例如制药工艺与半导体出产的根本工艺需求丈量很低浓度时,溶解臭氧分析仪也能检测到浓度0-200ppb.在一般的情况下,其规范丈量浓度为0-2ppm，0-20ppm，0-200ppm。
3S-OZ80臭氧分析仪是一种安装在面板上的即用型臭氧分析仪。它规划用于监测饮用水、工业冷却水和冲刷水、废水或其他淡水样品中的臭氧（O3），臭氧浓度规模为0.00-2.00 ppm O3或0.00-20.00 ppm O3。
高浓度溶解臭氧分析仪，用于溶解在纯水（超纯水或去离子水）中的臭氧，最大流量 300 ml/min，规模：10、50、100、150 g/m3（ppmw）。
高浓度溶解臭氧分析仪，用于溶解在纯水（超纯水或去离子水）中的臭氧，含高达20%的HF，最大流量300ml/min，规模：10，20，50，100，150 g/m3（ppmw）。
低浓度和中浓度臭氧分析仪，用于溶解在纯水（超纯水或去离子水）中的臭氧，最大流速 300ml/min，规模：0.5、0.75、2、5、10、15 g/m3（ppmw）。